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【学术讲座】宝马娱乐app下载分析测试中心系列讲座(第九期)
2019-04-16 15:31   分析测试中心 审核人:   (点击: )

宝马娱乐app下载分析测试中心系列讲座(第九期)

一、报告题目:微纳加工技术中的科学原理

二、报告人:李西军 研究员(浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室副主任,西湖大学先进微纳加工与测试平台主任)

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三、讲座时间:2019419日(星期五),10:30-12:00

四、讲座地点:长安校区理学院383会议室

五、报告摘要:

    介绍微纳加工的历史和关键技术,重点分享电子束曝光、真空等离子刻蚀和镀膜工艺中涉及到的物理过程,并分享怎样利用科学原理开发新工艺的经验。

六、报告人简介:

    李西军 理学博士,研究员,浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室副主任,西湖大学先进微纳加工与测试平台主任。李西军博士师从经福谦院士,2000年毕业于中国工程物理研究院研究生部,获理学博士学位;有15年微纳加工技术开发和多年平台管理的经验。20042007年,在承担日本Pioneer公司先进集成非线性光学专项课题期间,发明绝缘层上铌酸锂(lithium niobite on insulation, LNoI)晶圆和聚焦离子束铁电畴纳米加工技术,是LNoI非线性集成光学器件的开拓者;随后发明扫描离子声学显微镜(Scanning Ion Acoustic Microscope, SIAM)。李西军博士曾获得国家基金委重大项目、国家基金委重点项目和科技部重大研发计划等子课题资助,发表学术论文40余篇,获得授权专利22项。

欢迎校内外师生参加与交流!

 

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